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真空无氧烘箱--BCB光刻胶热处理固化炉的应用

发布时间:2023-05-17   点击次数:76次

新的板材是高新产⛦业能力未来发展方向的先导和基础上。新颖高耐腐蚀性汇聚反应物和能力汇聚反应物的展现,为迅速未来发展方向的微电子光学学展示了能源。BCB作几类高耐腐蚀性汇聚反应物,以它持有的经营性质,就可以被越多越大规模操作。BCB是体现了优良率的热安全热稳定性处理义、化学反应安全热稳定性处理义、电隔热性和自动化机械抗压强度的高耐腐蚀性的板材。在意式高能力行业领域有相当关键的应运。

诸如在微手机生产加工中,代替各种集成电路芯片钝化防范和层间介电等。 在代替这个几个上时,BCB层边上要生成微细的接入瞳孔或接入页面。在代替这个几个上时,BCB层边上要生成微细的接入瞳孔或接入页面。似的的办法是在BCB膜涂ꦫ上层光刻胶,刻出光刻胶形🌺状,以光刻胶形状做掩蔽层,再对BCB进行刻蚀,将光刻胶形状转至到BCB膜上。

BCB的热加工凝固炉--真空体无氧干燥箱

涂BCB后,合成树酯物膜层需被工作以💃事关对后序工作工作的抗御性。由BCB树酯♋组成的膜的工作必须要在无氧前提条件下(<100ppm)进行。

改进措施在连继涂覆不饱和聚酯树脂时,对由BCB不饱和聚酯树脂来进行的膜层应来进行软✤操作。软操作能够满足明显增强形成于BCB膜上的连继层的支承。包含:铝合金胶片汇聚物、团伙有机化合物。

🅰很多缔合物层累积好后处置建意然后处置(硬外理)。确定硬外理时要完成95-100%的缔合物变换度。♎硬处置与软外理类似的,仅是外理用时长些、工作温度高些。

蒸空无氧恒温干燥箱

内部组织厚度mm:350*350*350(可开发)

材料做:内箱选用 316L 医疗器械不绣钢,外箱选用可信赖冷轧钢板板靜電喷塑或不绣钢

平均温度领域:RT+10-450℃ ,较常用 400℃下面的

温差辨别好坏率:0.1℃

湿度变化度:≤±1℃

基本操作机制:人机对战介面+PLC 控住

回温频率:≤8℃/min

变热方案:等值线/定做

降低温度的手段:油冷+风冷

涡流度:≤133pa

氧含碳量:≤20ppm

   真空无氧烘箱用于PI胶、BCB胶固化,键合材料预处理,ITO膜退火,PR胶排📖胶固化等🌱特殊工艺。适用于电子液晶显示、LCD、CMOS、IC、PCB板、MEMS器件加工、半导体封装、医药、实验室等生产及科研部门。


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