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想知道HMDS镀膜机的使用注意事项看此文就行

发布时间:2022-08-10   点击次数:473次

    体育买球app下载:HMDS玻璃镀膜机通过对烘🦹箱预处理过程的工作温度、处理时间、处理时保持时间等参数的控制可以在硅片、基片表面均匀涂布一层HMDS,降低🍸了HMDS处理后的硅片接触角,降低了光刻胶的用量,提高光刻胶与硅片的黏附性。

    HMDS镀膜机的运用重视事由:

    1、定时净化涡流室并否则抹干,一次都根除洗不脏,立即导致越来越会难洗的現象。干燥后再玻璃表层的镀膜,头一炉应比仅有增长4倍耗时才玻璃表层的镀膜。

    2、要定期修改分散泵油,修改涡流泵及罗茨泵油。修改分散泵油前千万要验收涡流度可否不超过1X102Pa,分散泵中的油温可否充分蒸发到恒温模式后,即可实施加水或充十足实施拆除,不然的话会制造影响人的造成隐患。

    3、平日里整体系统软件要长期性保持真空环境箱的情形,本职工作前才充进固体,千万不要使真空环境箱室长期性爆出在豪迈中。

    4、一直体检胶封能不好的,有点是动封好圈,开展给动封好处再加上真空箱脂。

    5、定时检杳电力设备pcb板,移除毛絮,替换烧毁的元元件。

    6、在真空环境体度环境下只能拆除扩撒泵和管道闸阀。拆除的步骤是:先将整块真空环境体度设计抽至真空环境体度环境,注重不来进行加热扩撒泵,手去动开放精抽阀,之后按放气阀旋钮让设计通入包气,真的空环境体度室充电包气后就可来进行拆除扩撒泵和管道闸阀。

    7、停旋片泵、滑阀泵时,要主要涡流阀(或气动式式阀)是不是也向泵腔空气、,以至于会激发回油,危害正空管道铺设。故此,涡流阀(或气动式式阀)空气、动式作不灵时,需求不能确定修剪或换。

    8、而对于偏北省份,在冷季節,深夜和较长耗时断电时,有必要用收缩气味将待正常情况下赶出待待冷却塔管、泵体,免受冻裂待正常情况下管(套)和泵体。

    9、精抽系统性要待真空环境压强达到3Pa后方能上班,若在过高的压强下做抽气,会使对外扩散泵油腐蚀,影响抽气技能,延长泵油的选用蓄电量。

    10、为确认进口真空镀晶主设备有保养的岗位生态环境,滑阀泵排清去的汽体一定用管网将它排清去岗位房之中,而是从滑阀泵排清去的汽体包含大多数细微的油雾会环境破坏被镀的钢件,比较严重印象膜层的质量管理。

    11、在本职工作阶段中不准断水,选取的水保压水必定便于,不准选用硬水或浊水是 水保压水,反之会使水保压给水管磨合一点水锈,应响水保压感觉。
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