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你知道HMDS烤箱的主要设备特点都有哪些吗

发布时间:2022-09-09   点击次数:422次

    HMDS烤箱将HMDS涂到LED、半导体制造中硅片、砷化镓、铌酸锂、玻璃、蓝宝石、晶圆等材料表面后,经烘箱加温可反应生成以硅氧烷为主体的化合物。它成功地将硅片表面由亲水变为疏水,其疏水基可很好地与光刻胶结合,♍起着偶联剂的作用。均匀涂布一层HMDS,降低了HMDS处理后的硅片接触角ℱ,降低了光刻胶的用量,提高光刻胶与硅片的黏附性。

    HMDS烤箱的设备特别:

    1、机机壳所采用带钢板烤漆门板治疗,内胆为不锈钢材质316L素材作成;高温器平均布置在其中胆内壁四周围,内胆内无某些电器零部件及可燃性易爆裝置。钢化、防多层波璃门洞察分析任务棚内方式了如指掌。

    2、箱门闭锁紧度能调,整体的成形的硅塑胶门封圈,抓实安装有高进口真空度。

    3、微租赁自动化控温仪,享有确定,判断水温双数字8显视和PID自整定功效,控温正确,安全。

    4、智能化触模屏把控软件生活配套法国三菱PLCPLC摸块可供用户的表明有所不同工艺必要条件调整系统,的温度,高压气度及各个方面系统时长。

    5、HMDS混合甲烷气体隔绝式全自动吸取教训增加定制,重力作用箱隔绝机械性能佳,保持HMDS混合甲烷气体无外泄担心。

    6、一小部分系统软件用优秀建筑的原材料创造,无发尘建筑的原材料,使用100级光刻间水净化情况。

    将HMDS涂到半导体芯片研制中硅片、砷化镓、铌酸锂、窗玻璃、蓝晶石、晶圆等建材漆层后,经干燥箱升温可反應生成二维码以硅氧烷侧重于体的有机物。它成功的英文地将硅片漆层由亲水就来为疏水,其疏水基可太好地与光刻胶通过,起着偶联剂的用。

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