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HMDS烤箱,HMDS重力作用恒温干燥箱将HMDS液相基性岩至半导体芯片生产制造中硅片、砷化镓、铌酸锂、玻离、蓝黄宝石、晶圆等材料面后,经系统软件控温可生理反应转换以硅氧烷主体的单质。
体育买球app下载:HMDS预处理系统(JS-HMDS90 )
HMDS预治理软件(JS-HMDS90 )是将“去水烘烤“和HMDS治理加在同个道生产工艺,同个个贮罐中开始,晶片在箱体先过程100℃-200℃的去水烘烤,再开始HMDS治理,不必须要从箱体传出了,而接触性到自然空气,晶片获取水分含量子的机率有很大程度的消减,这些有较好的治理目的。
体育买球app下载:智能型HMDS真空系统(JS-HMDS90-AI)
智慧型HMDS真空度设计(JS-HMDS90-AI)将HMDS液相积累至半导体用料产生中硅片、砷化镓、铌酸锂、窗玻璃、蓝红宝石、晶圆等用料面后,经设计调温可不良反应导出以硅氧烷是以体的单质。它成功的地将硅片面由亲水成为疏水,其疏水基可不错地与光刻胶结合实际,起着偶联剂的用处。
体育买球app下载:智能型HMDS系统真空泵,HMDS涂胶机干泵
自动化型HMDS体系涡流泵,HMDS涂胶机干泵抽机械泵结构设计(直流电机和很多滑动轴承型号与涡流环路非常分格)延长至了滑动轴承型号的用到使用的期, 还可提高净化、隔膜正空泵的涡流前提。可选装的融合通道口庇护阀预置于泵组件中, 可随着必须要用到,也不会特别扩大泵的高速。
体育买球app下载:智能型HMDS涂胶机,自动HMDS涂胶镀膜机
智能化型HMDS涂胶机,电脑自动HMDS涂胶电镀机也叫做HMDS办理,是用作使晶片表明呈疏水性聚氨酯的办理。
体育买球app下载:HMDS增粘装置,涂敷HMDS增粘剂的装置
HMDS增粘安全装置设备,浸涂HMDS增粘剂的安全装置设备利用对腔体内预办理进程的运行环境温度、办理时候、办理时维持时候等主要参数的把控也可以在硅片、基片界面均匀的施胶那层HMDS,提升了HMDS办理后的硅片触及角,减小了光刻胶的剂量,提升光刻胶与硅片的黏附性。
体育买球app下载:HMDS涂胶机,智能型HMDS涂 胶机
HMDS涂胶机,智力型HMDS涂 胶机将HMDS涂到半导手工制造中硅片、砷化镓、铌酸锂、玻璃窗、蓝晶石、晶圆等资料表层后,经恒温干燥箱升温可表现提取以硅氧烷为中心体的无机化合物。它顺利完成地将硅片表层由亲水化为疏水,其疏水基可挺好地与光刻胶组合,起着偶联剂的的作用。
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