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高精度数显恒温加热台

高精度数显恒温加热台

简要描述:

高导致精度数显式恒溫电加热台光刻光刻加工中是需要烘烤的关键步骤有:预烘培和底漆涂抹、软烘烤、报光后烘烤、硬烘烤

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高精度数显恒温加热台在光刻工艺的烘烤目的

体育买球app下载:光刻光刻🍬制作工艺中应该烘烤的步奏有:预烘๊培和底漆涂抹、软烘烤、大曝光后烘烤、硬烘烤。

体育买球app下载:软烘烤将光刻胶从液态氨演变为固态硬盘,怎强光刻胶在尖晶石外壁的映照力;

体育买球app下载:PEB(曝出后烘烤)的为的是降驻波相互作用;

硬烘烤的为的是去除光刻胶内的多余液体、扩大光刻胶的密度,并确认进一歩的缔合角色改善光刻胶的刻蚀与阳离子传递的防御力,明显增强了光𝓡刻胶的支承力。

高精度数显恒温加热台的用途

  数显压力表恒温器热处理台在晶圆的单侧烘烤,可在预烘烤(Pre-bake)𒆙,前烘(soft bake),底胶涂覆(Primer Vapor)和后烘烤(hardbake坚膜)生产技术流程。适应环境于半导体技术硅片,载玻片,晶片,基片,ITO导电夹层玻璃等生产技术流程,印刷制版的接触面涂覆后,ꦯ薄膜和珍珠棉烘干箱,应用。热板温差安稳更高,相同性好。

调温使用面积长宽:160🤪mm*160mm、220mm*220mm,多长宽全屋定制  

体育买球app下载:控温范畴:制冷--200、300/400/500/600℃

体育买球app下载:温暖甄别率 :0.1℃     

室内温度上下波动度:≤±0.🌱5℃        &𓃲nbsp;

体育买球app下载:体温不匀性:≤±0.5/1℃ 

体育买球app下载:可供选择配系统:

体育买球app下载:支撑着pin材料

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体育买球app下载:N2吹扫,无钝化烘烤

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