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高温无氧化烤箱 炎热无硫化烤箱，半导体材料制造烤箱用以PI、BCB胶炎热固化型烘烤。全外箱的结构分成：膛体零件、箱架零件和制热零件3个地方，膛体腔，内接触面全弧面规划，排风系统管由左、右、后导风板与外箱内壁上结合而成，膛体上端有排风系统管网。